產(chǎn)品中心
PRODUCTS CNTER當前位置:首頁產(chǎn)品中心表面成像分析電鏡全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針
SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年,公司的主要業(yè)務(wù)是制造和銷售硅基壓電阻式自感應(yīng)AFM探針。這種全壓電式懸臂,在AFM、納米、力測量等傳感應(yīng)用域都有全新的應(yīng)用。全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針安裝了個全壓電電阻式的惠斯通電橋,兩個可變電阻在懸臂上,兩個在晶片上可以直接測量懸臂的信號,從而避免了光學(xué)技術(shù)對空間要求。
產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION全新壓電阻自感應(yīng)懸臂梁AFM探針
——從此形貌探測無需激光
SCL-Sensor.Tech公司成立于2004年,公司的主要業(yè)務(wù)是制造和銷售硅基壓電阻式自感應(yīng)AFM探針。這種全壓電式懸臂,在AFM、納米、力測量等傳感應(yīng)用域都有全新的應(yīng)用。我們的多學(xué)科團隊由物理、商業(yè)和金融、半導(dǎo)體和微電子學(xué)、電子工程和生物科學(xué)等域的家組成。除了我們自己的團隊之外,我們還與著名高校:University of Tampere (UTA),école Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) 許多的研究團隊合作,密切接觸前沿研究和開發(fā)。
自感應(yīng)懸臂探針安裝了個全壓電電阻式的惠斯通電橋,兩個可變電阻在懸臂上,兩個在晶片上可以直接測量懸臂的信號,從而避免了光學(xué)技術(shù)對空間要求。這種懸臂式芯片被連接在個小的PCB上,帶有個小的連接器,用于快速和高度可重復(fù)的懸臂交換。傳感器信號是通過個小型的前置放大器PCB來讀出和放大的。這使得與各種儀器,如SEM,TEM和許多其他測量系統(tǒng)的簡單無縫集成。這種自感的懸臂可以滿足各種共振頻率和彈性系數(shù)的要求。
SCL提供了PRS(Piezo-Resistive Sensing)不可加熱的懸臂AFM探針和PRSA(Piezo-Resistive Sensing & Active)可加熱的懸臂AFM探針。我們建議用塑料鑷子更換裸懸臂AFM探針,用鋼鑷子來更換固定在PCB板上的懸臂AFM探針。
常規(guī)自感應(yīng)懸臂梁探針(針尖材質(zhì)Si) Self-Sensing Cantilevers with Silicon Tip
左圖展示的是標準的SCL自感應(yīng)懸臂探針的*,*半徑小于15納米。正常情況下,懸臂探針會預(yù)安裝制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下側(cè)有個10pin的連接器。如果有殊要求,我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本,可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing) |
型號列表:
PRSA-L300-F50/60/80-Si-PCB/CHP
我們可以提供兩中定頻率范圍內(nèi)使用的探針(中頻為50 kHz或80 kHz),頻率取決于懸臂的厚度。當選擇沒有PCB板的裸探針時(PRSA-L300-CHP)時,使用的頻率范圍是未知的,因為這些參數(shù)不能在沒有電觸點的情況下測量。
共同點Common | ||
針尖銳度Silicon tip radius (rtip) | < 15 nm | |
長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 305 μm, w = 110 μm | |
靈敏度Sensitivity (s) | 1-2 μV/nm | |
應(yīng)用Applications | AFM, 納米探測, 結(jié)合 SEM/TEM的力學(xué)探測. | |
PRSA-L300-F50-Si-PCB | ||
共振頻率Resonant frequency (fR) | fR = 30~65 kHz | |
剛度Stiffness (k) | k = 1~15 N/m | |
PRSA-L300-F80-Si-PCB | ||
共振頻率Resonant frequency (fR) | 65...95 kHz | |
剛度Stiffness (k) | 15...56 N/m |
PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP
PRS-L70-F900-Si-PCB/CHP | ||
針尖銳度Silicon tip radius (rtip) | < 15 nm | |
長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 70...85 μm, w = 30 μm | |
靈敏度Sensitivity (s) | 3 μV/nm | |
應(yīng)用Applications | AFM, 納米探測, 結(jié)合 SEM/TEM的力學(xué)探測. | |
共振頻率Resonant frequency (fR) | 500...1300 kHz | |
剛度Stiffness (k) | 35...400 N/m |
自感應(yīng)懸臂梁(不含針)Self-Sensing Cantilever without Tip (Tipless)
這是種殊類型的SCL的自感應(yīng)懸臂,沒有探針針尖,可將自己設(shè)計制造的針尖粘在其上或者直接粘上樣品,滿足個性化的需求。這種無探針的懸臂尤其適用于扭矩磁力儀、力感測力、氣體性測量,以及更多的應(yīng)用。正常情況下,懸臂探針會預(yù)安裝制的PCB板(CL-PCB)上,在它的下側(cè)有個10pin的連接器。如果有殊要求,我們也可以提供沒有PCB板的懸臂探針。探針有兩種版本,可加熱的探針PRSA (Piezo-Resistive Sensing & Active) 和不可加熱的探針PRS (Piezo-Resistive Sensing) |
型號列表:
PRSA-L300-F50/60/80-TL-PCB/CHP
我們可以提供兩中定頻率范圍內(nèi)使用的探針(中頻為50 kHz或80 kHz),頻率取決于懸臂的厚度。當選擇沒有PCB板的裸探針時(PRSA-L300-CHP)時,使用的頻率范圍是未知的,因為這些參數(shù)無法在沒有電觸點的情況下測量。
共同點Common | ||
長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 300 μm, w = 110 | |
靈敏度Sensitivity (s) | 1-2 μV/nm | |
應(yīng)用Applications | 扭矩磁力儀,力感應(yīng),氣體性,殊針尖的安裝 | |
PRSA-L300-F50-TL-PCB | ||
共振頻率Resonant frequency (fR) | fR = 30~65 kHz | |
剛度Stiffness (k) | k = 1~15 N/m | |
PRSA-L300-F80-TL-PCB | ||
共振頻率Resonant frequency (fR) | 65...95 kHz | |
剛度Stiffness (k) | 15...56 N/m |
PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP
PRS-L100-F400-TL-PCB/CHP | ||
長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 100 μm, w = 48 μm | |
靈敏度Sensitivity (s) | 1...3 μV/nm | |
應(yīng)用Applications | 扭矩磁力儀,力感應(yīng),氣體性,殊針尖的安裝 | |
共振頻率Resonant frequency (fR) | fR = 250...550 kHz | |
剛度Stiffness (k) | k = 14...170 N/m |
PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP
PRS-L450-F30-TL-PCB/CHP | ||
長寬Cantilever length, width (l/w) | l = 450 μm, w = 100 μm | |
靈敏度Sensitivity (s) | 1...2 μV/nm | |
應(yīng)用Applications | 扭矩磁力儀,力感應(yīng),氣體性,殊針尖的安裝 | |
共振頻率Resonant frequency (fR) | fR = 14...48 kHz | |
剛度Stiffness (k) | k = 0.5...24 N/m |
自感應(yīng)基礎(chǔ)套件(DYI*) Self-Sensing Starter-Kit
自感懸臂探針的每個應(yīng)用中沒有激光擾度探測,無法直接用于普通AFM設(shè)備里,需要我們提供的自感應(yīng)基礎(chǔ)套件。該基礎(chǔ)套件為您提供了所有基本但必要的配置,可以立即開始使用自感應(yīng)懸臂(探針)。自感應(yīng)基礎(chǔ)套件包含以下內(nèi)容:
? 低噪聲懸臂信號前置放大器(下圖-2)
? 連接前置放大器到懸臂和后加工設(shè)備(鎖定放大器,AFM控制器等)的電纜。(1 + 3)
? 10個自我感覺的懸臂(4)
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