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Adv. Mater.:飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)將陶瓷結(jié)構(gòu)加工帶入500 nm線寬尺度

更新時(shí)間:2023-04-27點(diǎn)擊次數(shù):878

期刊:Advanced Materials

IF: 32.086

文章DOI: 10.1002/adma.202208653

 

【引言】


骨骼,琺瑯和珍珠等天然材料的優(yōu)異力學(xué)性能源于特別的微結(jié)構(gòu)和優(yōu)異的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。傳統(tǒng)工藝制備的材料很難制備上述微納結(jié)構(gòu),幾乎無(wú)法達(dá)到天然材料的性能。為了解決這一問(wèn)題,科學(xué)家們提出了超材料(Metamaterials)的概念,即通過(guò)增材/減材制造的方式,制備天然材料所具有的微結(jié)構(gòu)和拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)。雙光子聚合技術(shù)是一種典型的制備超材料的增材制造技術(shù),該方法已被廣泛用于聚合物材料的制備。但光在含有固體顆粒的聚合物樹(shù)脂中會(huì)被強(qiáng)烈散射,利用雙光子聚合技術(shù)制備具有特殊微結(jié)構(gòu)和拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的陶瓷材料是困擾學(xué)術(shù)界和工業(yè)界多年的難題。

 

【成果簡(jiǎn)介】


2023年2月的材料領(lǐng)域期刊《Advanced Materials》報(bào)道了德國(guó)聯(lián)邦材料研究與測(cè)試研究所(BAM)S?nger等人通過(guò)雙光子聚合-燒結(jié)的技術(shù)路徑制備了具有拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的陶瓷超材料。作者使用飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory中波長(zhǎng)為780 nm的激光光源,制備出了最小線寬為500 nm的復(fù)雜拓?fù)溽惙€(wěn)氧化鋯(YSZ)陶瓷超材料。研究結(jié)果表明:密度范圍在1-4 g/cm?3的YSZ陶瓷超材料,其抗壓強(qiáng)度就可達(dá)4.5 GPa。這一力學(xué)性能與傳統(tǒng)塊體YSZ陶瓷保持一致。


飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory設(shè)備圖

 

 

【圖文導(dǎo)讀】


圖1. 通過(guò)雙光子聚合和1200℃燒結(jié)實(shí)現(xiàn)3D增材制造。a) x-y平面內(nèi)線寬為1 μm的立方體中無(wú)畸變晶格俯視圖。b)45°和90°燒(插圖)側(cè)視圖。c)放大顯示單個(gè)單元。d)CAD模型。


圖2. 陶瓷納米顆粒和用于光子聚合制造樹(shù)脂的表征。a)YSZ陶瓷納米顆粒粒徑分布圖。b)陶瓷納米顆粒的透射電鏡表征。c)在添加不同粒徑,不同質(zhì)量的陶瓷納米顆粒后樹(shù)脂透光性能表征。


圖3. 通過(guò)飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory雙光子聚合-燒結(jié)制備的YSZ陶瓷微納結(jié)構(gòu)。1200℃溫度燒結(jié)的a)實(shí)心結(jié)構(gòu)和b)最小線寬為500nm的空心結(jié)構(gòu)。c) 1450℃溫度燒結(jié)的實(shí)心和d) 1200℃溫度燒結(jié)的空心Schwarz P曲面體。


圖4. 通過(guò)飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory雙光子聚合-燒結(jié)制備的YSZ陶瓷微納結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能。a)在800℃和1200℃溫度下燒結(jié)的實(shí)心立方體的力-位移曲線。b)經(jīng)過(guò)1200℃或更高溫度燒結(jié)后的實(shí)心或空心Schwarz P曲面體在相近的外力條件下產(chǎn)生斷裂。


圖5. 各種材料的強(qiáng)度-密度相關(guān)性。

 

【結(jié)論】


S?nger等人通過(guò)雙光子聚合-燒結(jié)的技術(shù)路徑制備了具有復(fù)雜拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的陶瓷超材料,拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的最小線寬可達(dá)到500 nm,抗壓強(qiáng)度與傳統(tǒng)的塊體YSZ材料相當(dāng)。該研究彌補(bǔ)了利用雙光子聚合技術(shù)制備陶瓷材料的空白,借助Femtika的飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory將陶瓷超材料的制備精度提高到了亞微米尺度。如下圖所示,F(xiàn)emtika的飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory不僅具有雙光子聚合制備功能,還擁有激光燒蝕和選擇性刻蝕等功能,可廣泛適用于微納機(jī)電,生物醫(yī)藥,通訊傳感等領(lǐng)域的研究和生產(chǎn)。

圖6. Femtika的飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory制備的a)微針,b)金屬親疏水表面微結(jié)構(gòu),c)通訊光纖上的傳感器,d)微納齒輪,e)微納光學(xué)結(jié)構(gòu),f)金屬孔洞,g)基于玻璃的微流控器官芯片,h)可活動(dòng)鉸鏈,i)微納陶瓷雕像。


相關(guān)產(chǎn)品

1、飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory


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