AFM/SEM二合一顯微鏡-FusionScope作為一款全新的集成式顯微鏡，擁有強大的材料形貌表征能力。設(shè)備通過SEM側(cè)向視野，精準定位探針位置，針對性地對目標區(qū)域進行掃描，在半導(dǎo)體加工、薄膜材料、磁性樣品等領(lǐng)域都具有突出的應(yīng)用優(yōu)勢。同時，F(xiàn)usionScope還具有免樣品轉(zhuǎn)移、高清快速成像、一鍵完成模塊導(dǎo)航等優(yōu)勢，在實際測試中為研究者帶來了極大的便利。

基于聚焦電子束誘導(dǎo)沉積方法制備的具有精確納米尺度3D幾何結(jié)構(gòu)的等離子體納米結(jié)構(gòu)，采用FusionScope進行了原位尺寸表征（Adv. Funct. Mater. 34, 2310110, 2023）；通過低溫刻蝕法制備的具有高深寬比的納米線陣列，也采用FusionScope進行了高度、形貌、均勻性和粗糙度等方面的細致分析與總結(jié)（Appl. Phys. Rev. 11, 021211, 2024）。這些研究表明，F(xiàn)usionScope在材料科學研究中具有廣泛的應(yīng)用前景。

除此之外，F(xiàn)usionScope在力學測試中同樣具有優(yōu)異的表現(xiàn)。通過SEM提供的視野，研究者可以實現(xiàn)對特定樣品表面的力學性能測試，并且能夠清晰地觀察探針對樣品的壓痕過程。無論是想要探究材料的硬度、彈性模量還是斷裂韌性，能在FusionScope中得到答案！

AFM/SEM二合一顯微鏡-FusionScope

1. 單根納米柱的彈簧常數(shù)測試

FusionScope可以精確測量單根硅納米柱樣品的彈簧常數(shù)。設(shè)備可以在SEM視野下將探針精確定位于硅納米柱樣品頂端，探針在不斷接觸與返回過程中即可得出力位移曲線，通過探針施加的力與納米柱位移的比值計算得到樣品的彈簧常數(shù)（Microscopy Today, 17-22, 2023）。

探針測量單根硅納米柱動態(tài)過程

探針測量單根硅納米柱快閃圖

樣品的力學曲線

2. 納米壓痕試驗測試樣品硬度

FusionScope可以輕松實現(xiàn)在納米壓痕實驗中的力學控制，以靜制動，原位視野下輕松測試，可視化呈現(xiàn)納米壓痕。通過設(shè)置不同的力測試納米壓痕的效果，得到樣品硬度信息。在SEM視野下測試納米壓痕的效果精確計算壓痕的面積，可以避免偽結(jié)果的影響。

探針在樣品表面壓痕

壓痕區(qū)域面積的AFM圖像

3. 復(fù)雜樣品表面的力學信息測量

FusionScope能夠快速對具有不規(guī)則表面的載藥顆粒進行力學測試與動態(tài)測量過程。如下樣品主要成分為VitaminC，通過掃描電鏡可以觀察到樣品表面崎嶇不平，粗糙度較高，在進行力學測試過程中，能夠通過SEM觀察到一種階段式下針過程，從而得到分段式力學曲線，二者相輔相成，互為驗證。

傾斜樣品的力學曲線測量動態(tài)過程

傾斜樣品的力學曲線測量快閃圖

階段式力學曲線測試結(jié)果

4. 定制化實現(xiàn)不同力學測試需求

通過無探針懸臂梁自制球形探針，滿足定制化的各種需求。無探針懸臂梁頂端蘸取SEM固化膠，通過電鏡視野尋找合適的樣品球并進行電子束轟擊對其進行固化，從而實現(xiàn)對球形末端懸臂梁的制備。探針下壓并且實現(xiàn)對球形樣品的力學性能測試，得到力距離曲線，全過程在SEM視野下可見。

無探針懸臂梁尋找樣品球并且對其進行固化過程

制備完成的球形端探針

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1、FusionScope多功能顯微鏡

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